機台改造實績
風克士改造案歷史實績:
- 光電產業：
- FFU(黃光線)新增改造工程
- 曝光機區Chiller管路改造
- IR氣流改善工程
- VCD氣流改善工程
- OVEN ROBOT區 FFU增設
- 磁力棒改造安裝作業
- TD Line全區設備 安全迴路增設(RUBX、PICO 、BPCL 、ARCX‧‧‧ 等機台)
- LCD工程 FAB2 PIPR#01/PIPR#02軟簾圍籬更換
- 升降機構抽氣裝置
- Laser Repair System_Callisto C-60 ASSY 波長改造
- Laser Repair System_New Wave QL-50 ASSY 波長改造
- AOI YASKAWA Robot Tool Partition施作
- AOI YASKAWA Robot區Ceiling吊點增設
- CV磁力輪更換工程
- 塗佈機_氣味改造專案_Part1~3
- MACO 電控自動強化玻璃門增設for Particle改善案
- MACO機台Particle緊急隔離工程
- IRCP FFU改造電盤
- ALIN Buffer Room 增設工程
- 玻璃報廢桶踏台增設-改善玻璃噴濺問題
- 製造部無塵室全區光罩盒圍籬增設
- 閒置EBR (Edge brush rinse)機構拆移機及復歸工程
- 曝光機PROX CUT FILTER 電控切換機構
- LOI conveyed FFU 安裝工程-owck02
- LOI conveyed FFU 安裝工程-owck01
- NIKON 光罩避震型輕便台車
- Robot機構加裝抽氣裝置_Particle改善
- Nikon抽風系統增設改造
- MACO FFU增設工程
- 塗膠機特殊化工管路更換工程
- 黃光線Partition 改造_Coater Buffer Room增設
- OVEN機台增設偵煙控制_NHUX 偵煙控制
- 濺鍍機 Vacuum Door Valve 改造工程
- ADSIG Gantry機構作動異常改善
- CNVR11 CV2-1 磁力棒增設工程
- 黃光線 磁力棒增設工程平展
- 黃光線 CNVR14 FFU增設
- 殘材機 VS.一切殘材桶整合增設
- PPBOX翻轉機構設計製作
- VCRH 9 Port過帳系統
- Coater CV 風刀增設工程_For AOI判定異常改善
- PMLD01 & 02 設備增設 Clean 裝置
- PCTA01 機台整列改造
- 半導體產業：
- Gas Line外接攜帶式流量計需求
- Inter Lock By Pass Switch 增設工事
- Teflon 保溫布包
- MO Bottom Skirt 放電處理
- N EIP設備Gas Panel增設MFC通訊Ports
- 雷射機台太空艙Exlaust增設
- Gate Door 升降機構增設
- Ultratech設備FFU獨立電源改造
- BASEPLATE吊臂
- EPI機台ROBOT bearing拆解jig
- CVD Clean Lid製作
- FI plunger 製作
- pump outlet pipe 溫度監控/上報
- Ultratech-水路改造
- EPI lamp 可調式底座
- 化學溶劑防爆抽氣桶
- USC 除塵頭滑軌移動載台
- EPI 機台單 Chamber MFC 音源 Port 增設
- 其他產業：
- 55K/90K/100K CVD Loader 控制器開發(機構/電控/軟體)
- Hi Pot測試平台開發(機構/電控)
- Impedance RF冷卻系統開發(機構/電控)
- Gate Valve Cycle Test 控制器開發(機構/電控/軟體)
- Motor測試平台開發_25K/50K/100K(機構/電控/軟體)
- RENA機台洗淨段增設烘乾系統(機構/電控/軟體)
- L6離電池產線集塵機構增設(機構/電控/軟體)
- 電池供壓偵測系統開發(機構/電控/軟體)
